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入口法蘭

DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K

抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100)

  N₂

61 ls^-1 (42 ls^-1) (66 ls^-1)

  He

57 ls^-1  (49 ls^-1) (59 ls^-1)

  H₂

53 ls^-1  (48 ls^-1) (54 ls^-1)

壓縮比

  N₂

>1 × 10¹¹

  He

1 x 10⁶

  H₂

5 x 10⁴

極限壓力 (mbar)

帶有 RV 前級泵 ISO/CF

<5 x 10^-9 / 5 x 10^-10

帶有隔膜前級泵 ISO/CF

<5 x 10^-8 / 5 x 10^-9

出口法蘭

DN16NW

推薦前級泵*

RV5/nXDS5i

排氣口

1/8 英寸 BSP

吹掃口

1/8 英寸 BSP

*大連續(xù)進氣口壓力（輕氣體泵送）^†

水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度）

2 × 10^-2 mbar

強制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度

1 × 10^-2 mbar

泵旋轉(zhuǎn)速度

標稱旋轉(zhuǎn)速度

90000 rpm

待機旋轉(zhuǎn)速度

在 49500 至 90000 rpm 之間變化
（63000 rpm 默認）

可編程功率限制設(shè)置

可在 50 至 120 W 之間變化（默認為 80 W）

到 90% 速度的啟動時間

110 s ‡

模擬輸出

轉(zhuǎn)速；
功耗；泵溫度；控制器溫度

冷卻方法^#

強制空氣/水

強制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度

5 - 35 °C

*小冷卻水流速（15 °C 的水）

15 l h^-1

水溫范圍

10 - 20 °C

*高入口法蘭溫度

100 °C

操作姿態(tài)

垂直且豎直，直到
水平

1 米處的噪音級別

<50 dB(A)

泵可以承受的*大磁場

5 mT

推薦控制器

TIC100 分子泵和儀器控制器

靜止電功率

10 W